四川弘芯氟醚科技有限公司成立于2022年2月,注册资金1000万元,位于东坡故里---眉山市东坡区。是四川道弘集团旗下子公司。
公司配备了1600平米无尘车间及300平米无尘研发中心------凭借行业标准的污染控制,齐全的无尘车间环境可提供较优质的产品。对于半导体客户,我们可以开发业界较先进的全氟醚橡胶,满足较严格的质量和洁净度要求。
弘芯氟醚全氟醚O型圈为工程师们提供了适用于各种静态和动态应用的高性能密封元件。
全氟醚O型圈广泛应用于需要高强度紧固的重要部件的装配,如轴承、螺母、螺栓、垫片等,可有效提高配件性能,降。
在半导体集成电路制造设备中,晶圆需要从大气环境下传送到需要进行真空工艺的工艺腔中, 为了同时满足真空和晶圆传送需要,在各连接的机台腔之间需要设置狭缝和对应的狭缝阀装置, 而全氟醚橡胶具有出色的耐真空性,是狭缝装置优选材料。
KF是很常见的应用在高真空系统中的一种连结方式,其主要运用橡胶圈密封。它由几个原件构成: KF法兰、O型圈、定心支架和卡箍。规格从KF10-KF50,通常情况下KF链接的管道尺寸是英寸规格来说的,即KF25对应管道为25.4*1.65mm以此类推。KF较大的到KF50(配管50.8*1.65mm)之后的真空连接就是ISO系列。
ISO法兰和配管可用于从大气压到高真空,经常装拆的各种应用中。一般管子的直径**过50mm (2英寸)。如果使用氟橡胶O型圈,可以承受上200度以上高温烘烤。ISO系列密封圈相对于KF系列的真空密封圈除了有中心支架和氟橡胶材质密封圈外还多了铝制弹簧外圈防止密封圈滑落。